1.真空腔室:Φ350×H400mm;
2.真空极限:≤5.0×10-5Pa;
3.漏率:≤0.8Pa/h;
4.基片台尺寸:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
真空指标:极限真空优于6.6×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
设备保压:停泵12小时候后,真空≤10Pa;
抽速:空载从大气抽至8.0×10-4Pa≤45min;
真空极限:≤8.0×10-5Pa;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;可镀基片尺寸/面积:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
抽速:从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min;
设备升压率:≤0.8Pa/h;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;
极限真空:空载优于5.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤40min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
极限真空:空载优于6.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至6.0×10-4Pa≤30min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
控制方式:PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;
真空炉体:Φ350×L550mm(内净尺寸),不锈钢双层水冷结构;
工件加热温度:采用内置钼加热器及多层不锈钢+钼桶热屏蔽层;
加热器材料:钼;
极限温度:≥1200℃;
温控精度:±3℃;
右电极:长度300mm;手动驱动推进电极前进,导轨导向;
控制方式:手动按钮控制方式;
真空腔室:Φ250mm×H350mm,304优质不锈钢真空腔室;
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120.235.138.* 中国广东肇庆市移动网友 empowersim 于2020-07-18 08:21:02发表评论:
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108.161.135.* 美国网友 ztic2849 于2021-07-23 11:54:38发表评论:
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216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 sndamachinerys 于2019-02-21 17:45:08发表评论:
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77.88.5.* 俄罗斯网友 bddiimmcl6706 于2019-06-15 18:44:03发表评论:
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79.173.188.* 英国网友 ruichuangda 于2021-08-02 17:47:45发表评论:
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66.246.224.* 美国新泽西州莫里斯县汉诺威镇雪松丘地区NetAccess公司网友 hhtcl1309 于2019-06-27 12:57:12发表评论:
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95.163.255.* 俄罗斯莫斯科Mail.ru网友 aibirui 于2019-02-16 15:21:25发表评论:
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119.29.17.* 中国广东广州市海珠区深圳市腾讯计算机系统有限公司IDC机房(BGP)网友 gdtdsy 于2019-04-14 06:14:15发表评论:
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42.236.10.* 中国河南郑州市北京奇虎科技有限公司联通CDN节点网友 gzlixiang 于2021-04-25 21:26:48发表评论:
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42.236.10.* 中国河南郑州市北京奇虎科技有限公司联通CDN节点网友 jpml5453 于2019-02-15 16:50:38发表评论:
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216.244.66.* 美国加利福尼亚州洛杉矶Wowrack科技公司网友 yingcai2019 于2021-02-20 14:24:30发表评论:
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114.101.166.* 中国安徽淮南市电信网友 qiyijs 于2019-05-11 10:08:44发表评论:
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205.169.39.* 美国科罗拉多州丹佛市Qwest通信有限公司网友 dingdonggj 于2021-06-11 17:37:14发表评论:
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116.9.31.* 中国广西贵港市电信网友 zymc6662 于2021-04-26 07:11:26发表评论:
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111.202.100.* 中国北京联通网友 gzlmic6896 于2018-12-20 03:17:07发表评论:
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17.121.112.* 美国Apple网友 gdbaishan 于2020-05-15 05:07:09发表评论:
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66.249.75.* 美国Google网友 wthc2018 于2019-01-19 04:27:37发表评论:
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95.163.255.* 俄罗斯莫斯科Mail.ru网友 sdyuesite 于2019-02-13 10:16:02发表评论:
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129.226.49.* 中国香港腾讯云网友 qdshamuxin 于2018-09-15 04:01:37发表评论:
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8.134.93.* 中国阿里云网友 techmachine 于2021-03-22 21:22:26发表评论:
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